ドライクリーンルーム

電子・精密分野の製造プロセスに低湿度環境を提供し、歩留り向上をサポートします。

概要

リチウムイオン電池や有機ELなどの製造工程では、きわめて低湿度な環境が要求されます。当社では、水分を嫌う製品の製造環境として、除湿した空気を供給するドライ（低露点）クリーンルームを提供します。

特長

1. 独自の高効率除湿機を開発
2. ケミカル成分を除去したクリーンドライエア（超低湿度空気）を供給
3. 排熱の有効利用と給気・再生風量の最適化により、大幅な省エネルギー化

（当社比）

ドライクリーンルーム設備

露点-60℃の低湿度空気を供給します。

特長

1. 露点温度-60℃の低湿度空気を供給
2. 従来の乾式除湿機に比べて約50％の省エネルギー

（当社比）

システム概要

適用分野

• リチウムイオン電池製造工程
• 材料メーカー　他

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超低露点除湿設備

露点温度-100℃の超低湿度空気を供給することにより、水分やケミカル成分までも除去します。

特長

1. 露点温度-100℃の超低湿度空気を供給
2. 高純度窒素ガスに比べて1/50以下にコストを低減

（当社比）

システム概要

適用分野

• 有機EL・有機デバイス・半導体成膜工程
• 半導体・FPD搬送保管工程
• ナノテクノロジー分野　他